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📚 厂务术语词典

156+厂务专业术语中英文对照与解释，涵盖各系统常用缩写

🌡️ HVAC 暖通空调

Make-up Air Unit MAU
新风机组 / 组合式空调箱
提供洁净室外新鲜空气的空调设备，负责温湿度预处理。
Heating, Ventilation and Air Conditioning HVAC
供热通风与空气调节
厂务核心系统之一，负责洁净室温湿度控制与通风换气。
Fan Filter Unit FFU
风机过滤单元
自带风机的高效过滤送风口，广泛应用于洁净室天花层。
Chiller CH
冷水机组
提供冷冻水的制冷主机，分为风冷、水冷、离心、螺杆等类型。
Cooling Tower CT
冷却塔
通过水与空气接触带走冷凝热量的散热设备。
Dry Bulb Temperature DBT
干球温度
普通温度计测得的空气温度，是空气的实际温度。
Wet Bulb Temperature WBT
湿球温度
湿纱布包裹温度计测得的温度，反映空气的饱和程度。
Relative Humidity RH
相对湿度
空气中水汽分压与同温度下饱和水汽压的百分比。

💨 CDA 压缩空气

Compressed Dry Air CDA
干燥压缩空气
经过干燥净化处理的压缩空气，用于气动设备与工艺吹扫。
Pressure Dew Point PDP
压力露点
在实际工作压力下，压缩空气中水蒸气开始凝结的温度。
Atmospheric Dew Point ADP
常压露点
压缩空气减压到大气压时对应的露点温度。
Heatless Regenerative Dryer
无热再生吸干机
利用变压吸附原理，无需加热，用部分成品气再生的干燥设备。

💧 UPW 超纯水

Ultra Pure Water UPW
超纯水
电阻率达到18.2MΩ·cm的高纯度水，用于半导体晶圆清洗。
Reverse Osmosis RO
反渗透
利用半透膜在压力下脱除水中离子、有机物的膜分离技术。
Electrodeionization EDI
连续电除盐
结合电渗析与离子交换的深度除盐技术，无需酸碱再生。
Total Organic Carbon TOC
总有机碳
水中有机物含量的综合指标，超纯水TOC通常<5ppb。
Waste Water Treatment WWT
废水处理
对生产废水进行处理达标排放或回用的系统。

⚡ 电力与自控

Facility Management Control System FMCS
厂务监控系统
集成监控厂务各子系统的中央管理控制系统。
Building Automation System BAS
楼宇自动化系统
对建筑物内机电设备进行自动监控管理的系统。
Programmable Logic Controller PLC
可编程逻辑控制器
专为工业环境设计的数字运算电子系统，用于设备自动控制。
Power Monitoring System PMS
电力监控系统
对配电系统进行实时监测、计量、报警的管理系统。
Supervisory Control And Data Acquisition SCADA
数据采集与监视控制系统
用于大规模分布式设备监控的工业控制系统。
Modbus
莫迪巴斯通讯协议
工业领域最常用的串行通讯协议，分为RTU、ASCII、TCP三种模式。
Uninterruptible Power Supply UPS
不间断电源
提供持续、稳定、不间断电力供应的电源保护设备。
Variable Frequency Drive VFD
变频器
通过改变电机电源频率来调节转速的节能控制装置。

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